按照《学院科研协作项目管理办法（试行）》文件规定，为加强学校科研协作项目的管理，确保用光波导阵列实现角向偏振光合成与超振荡聚焦项目的顺利进行。天津治微科技有限公司与项目负责人廖家莉将开展科研合作，现将合作相关事项公示如下：

项目名称：SOI波导光栅阵列

合作内容：进行SOI波导的微纳加工，主要工艺流程涉及EBL曝光、干法刻蚀、扫描电子显微镜表征。

项目负责人：廖家莉

无关联关系。

公示时间为2023年12月19日至2023年12月 24日（共5个自然日）。如有异议，请在公示期内以书面形式实名向项目负责人所在学院或科学研究院提出，并提供必要的证明材料，否则不予受理。

联系人：吕老师

邮箱：qlv@xidian.edu.cn

附件：外协单位营业执照

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2023年12月19日